擴(kuò)散硅壓力變送器通過溫度傳感器把溫度信號(hào)變?yōu)殡娦盘?hào),再由前置放大器把此電信號(hào)放大濾波,送往CPU的A/D 轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行模擬量到數(shù)字量的變換,最后由CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并顯示及PWM輸出。
原理框圖如下:被側(cè)介質(zhì)---〉傳感器---〉電子線路---〉輸出信號(hào)
被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴(kuò)散硅膜片/上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移,正常工作狀態(tài)下,膜片最大位移不大于0.025毫米,電子線路檢測(cè)這一位移量后,即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測(cè)量信號(hào)。超壓時(shí)膜片直接貼到堅(jiān)固的陶瓷基體/擴(kuò)散硅上,由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米,因此過壓時(shí)膜片的最大位移只能是0.1毫米,所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會(huì)產(chǎn)生過大變形, 擴(kuò)散硅壓力變送器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。